Bei einem Rasterelektronenmikroskop wird ein Elektronenstrahl in einem Muster über das abzubildende Objekt geführt (=gerastert), die Wechselwirkungen der Elektronen werden zur Erzeugung eines Bildes des Objektes genutzt. Im Vergleich zur Lichtmikroskopie weisen
die Bilder eine höhere Schärfentiefe auf, der maximale Vergrößerungsfaktor liegt bei etwa 1.000.000:1, damit lassen sich noch Objekte mit einer Größe von 1 nm (1/1000 eines μm) Größe auflösen. Über Analyse der charakteristischen Röntgenstrahlung, die durch Wechselwirkung der Elektronen mit den Atomen entsteht, lässt sich auch die chemische Zusammensetzung der Probe bestimmen.